可以达到纳米水平的输送控制的超精密伺服压机。

最大加压力：

5000N

传感行程：

100mm

机械行程：

130mm

特点

1. 重复位置决定精度：±50nm（纳米）和超精密伺服压机。
2. 线性刻度及闭合回路控制，使得可以实现超精细输送。
   输出速度：620nm/sec.
3. 纳米伺服压机和负载传感器的组合，使得可以做到极低压控制（可选）。

用途

• 膜片制造装置
• 压入
• 刻印装置
• 铆接
• 临界实验装置
• 半切
• 电子零件的封印
• 冲压