精密直线运动设备

PRODUCT EXPLANATION

亚微米级需求的超精密直线运动设备

半导体生产及光学设备需要高精度、高韧性的导向柱。isel开发了使用滚针的超精密直线导柱。通过独创技术，减轻了启动时的碰撞、摩擦和振动，实现了高精度的直线运动。此外，将滚动体由滚珠改为滚针，接触面积大幅增加，从而实现了高刚性。这一以“性能”为核心开发的直线导柱的终极形态，便是“精密滚针导柱”。同时，基于精密滚针导柱积累的技术，还开发了高精度压力机、高精度电缸等创新直线运动设备。

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FEATURES

精密滚针导柱系列的特点

01｜FEATURES

高刚性

通过“点接触转为线接触”并采用高精度宽滚针，与传统球形导轨相比，实现了10倍以上的高刚性

02｜FEATURES

低振动

通过采用高精度宽滚针，在保持高刚性的同时成功实现低预压。这使得滚动过程极为平滑，振动极低。

03｜FEATURES

高精度

实现了高刚性与低振动的精密滚针导柱具备出色的直线性，尤其是重复精度比滚珠导柱高出3倍以上。

PICKUP

模具用导柱GNG 系列

Guide for DIE-SET / GNG Series

主要用于模具用外导柱，是模具系列中的重要部件。作为高精度、高刚性的主导柱，支持亚微米级的冲切精度。在模具使用时，可将下死点时的X、Y方向重复定位精度控制在0.5µm以下，从而提升产品质量、降低不良率，并延长模具的再研磨周期。此外，还提高了模具再组装时的重现性，在连续模等全长较长且偏载较大的情况下，能够保持模具板间的平行度。

滚针

超级交叉研磨加工

STORY

开发故事

模具用导柱GNG 系列

为了制造更高精度的模具，开发高精度、高刚性的导柱

在加工半导体、液晶、触控面板等先进材料时，客户对加工产品的质量提升及模具寿命提出了更高要求。因此，我们开始致力于开发高精度模具。然而，实现所需精度的模具制造极其困难。最终发现问题源于导柱，于是开始开发全新高精度、高刚性的导柱。传统的球型方式理论上无法满足要求的精度，因此从导柱形状重新开始设计，并通过确立寿命与刚性计算公式、优化形状设计及实际测试验证计算依据，从科学角度反复进行目标设定、假设概念设计、试制、测试及评估，直至目标达成。

通过专用生产设备的开发、生产方法的确立，以及作为专利技术的滚针套一体成型方法的确立，克服了种种困难，最终完成了前所未有的六角形滚针导柱。凭借对自主研发的执着，不计成本，仅专注于“性能”，最终开发出了远超目标性能的直线导柱。