精密平台　MSZF系列

精密平台是源自艾塞路独创的理念 、实现了超高速・高刚性!! 大大缩短了间隙时间。 产品目录以外式样、也可接受咨询。

  1. 超高速定位
    电机直接连接凸轮驱动方式，最大100mm/sec
  2. 高刚性・高精度
    搭载滚针方式滚针导柱。X・Y方向重复定位精度±1.5µm以下。
  3. 紧凑设计
    电机机内配置，防止电机外部碰擦。

结构・优点

采用高真直性的滚针导柱、X・Y方向重复定位精度±1.5µm以下！！
精密平台实现「超高速」「高刚性」「高精度」的三位一体。

驱动方式

采用电机直接连接凸轮驱动方式。实现令人惊异的高速定位。（最大100mm/sec)

紧凑形状

精密平台将电机配置在内部。不会发生电机碰擦到外部零件、节省空间设计。 另外、上・下限节点及原点感应器也配置在内部。

精密凸轮

1 采用艾塞路独创技术精密研磨的凸轮、达到稳定的精度定位 。

导柱方式

2 采用4支高精度・高刚性滚针方式导柱「滚针导柱」。成功兼容刚性和润滑。

高精度电动缸

3 搭载（株）ハーモニック・ドライブ・システムズ公司的超扁平・高精度AC伺服电动缸FHA-Cmini系列 。 实现了小型 、高出力・高精度 。

用途例

  • 各种检查、测定用定位装置
  • 半导体相关制造装置
  • 太阳能平板相关制造装置
  • 各种连接装置　など

产品呼称（型号）

产品阵容／标准式样

轻巧紧凑的轻量型和高真直性的高精度型2种标准式样。

尺寸图／尺寸表

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